一、材料的吸气、放气
　　人们很早就知道某些材料具有很强的吸气能力，如活性炭等。现在已进一步了解到大多数金属和非金属材料或多或少都具有这种能力，这是真空技术，特别是超高真空技术中非常重要的物理现象，可为人们获得、提高或维持系统的真空度提供重要的手段。
　　但是，对于真空阀门设计来说，感兴趣的是这种物理现象的逆过程，即放气现象，研究这种放气现象对于提高真空阀，特别是超高真空阀的产品质量是极其有益的。
　　材料的放气是真空阀门总漏量中的一个重要组成部分。气体的来源主要有：吸附于真空阀零件内表面的气体；从金属内部扩散出来的气体以及金属表面因发生某种化学反应而释放出来的气体。
　　1、不锈钢的放气量很小。只及铜的1/10左右，与铝相比，则仅为它的1/100左右；
　　2、橡胶与树脂的放气量比金属材料都要高出100倍左右，最高的如硅橡胶则要高出1000倍以上。
　　放气现象与温度有关，温度越高，放气速率越大。因此用加热方法除气是一种十分有效的手段，材料经过烘烤后的放气量要大大低于未烘烤时的放气量。
二、蒸气压、蒸发、蒸发(升华)速率
　　物质通常有三种不同的状态，即气态、液态、固态。它们依据一定条件而相互变化，液态

　　选用真空阀门时主要应注意的事项如下：
　　1、所应用的真空区域；
　　2、关闭时阀门两边所承受的压力差；
　　3、阀的漏率；
　　4、能承受的烘烤温度；
　　5、能承受的环境温度；
　　6、以开启/封闭次数计的寿命；
　　7、如为超高真空金属阀,还需知道其允许的升温率和降温率。

最近老遇到有人问一些真空法兰结构的事，比如什么叫CF法兰？什么是KF法兰？什么是ISO法兰？而ISO法兰又分ISO-K和ISO-F。那么它们之间又有什么区别和联系？的确，这些法兰都是真空系统设计中常用的的法兰标准，非专业人士的确也容易混淆，所以，真空技术网(www.chvacuum.com)在这里就将三种法兰的结构，适用的标准一一列举出来，希望对大家有所帮助。1、CF法兰　　CF法兰的英文名是Conflat Flang。它是一种用于超高真空中的法兰连接，是一种金属静密封，可以承受高温烘烤。　　公称直径尺寸包括：DN16, 40, 63, 100, 160, 200，250　　适用

“真空”，是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态。国际上通常把真空度划分为低真空、中真空、高真空和超高真空四个等级，其划分标准没有严格规定，可大致划分如下：低真空度（ 105~102Pa）—— 利用低真空获得的压力差来夹持、提升和运输物料，以及吸尘和过滤，如吸尘器、真空吸盘等。中真空度（ 10M2~10-1Pa） —— 中真空一般用于排除物料中吸留和溶解的气体或水分，以及真空隔热和绝缘，如食用品的真空冷冻、真空干燥、真空包装等。高真空度（ 10-1~10-5Pa） —— 利用高真空残留气体密度

真空泵的用途：　　1、主泵：在真空系统中，用来获得所要求的真空度的真空泵。往复真空泵与水环真空泵的使用工艺基本相同。当前，油封机械真空泵作为直排大气的真空泵，使用的量大面广。它适合于抽取高真空，本身不能直排大气，必须配备前级泵使用。

在选型前，我们必须弄清楚关于真空泵的几个基础概念。　　真空度：处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用真空度表示。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，从表上表示出来的数值又称为表压强，业界也称为极限相对压强，即： 真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa，水环式真空泵极限绝对压强3300Pa；旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)　　极限相对压强：相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强。表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。由于容器内部空气被抽，因此

由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外，尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务是十分重要的，泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面。　　1、在系统中做主泵　　所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。　　2、粗抽泵　　粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。　　3、前级泵　　前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强以下的真空泵。　　4、

真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要分支，它已广泛地应用于光学、电子学、能源开发，理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、表面科学以及科学研究等领域中。真空镀膜所采用的方法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积镀以及分子束外延等。此外还有化学气相沉积法。　　如果从真空镀膜的目的是为了改变物质表面的物理、化学性能的话，这一技术又是真空表面处理技术中的重要组成部分，其分类如表 6 所示。现就其几个主要应用方面做一简单介绍。　　首先在光学方面，一块光学玻璃或石英表面上镀一层或几层不同物质的薄膜后，即可成为高反

一、真空插板阀的原理、使用范围　　真空插板阀的工作原理是阀通过阀杆的左右或上下运动，将阀板与阀座压紧实现密封。驱动阀杆运动的方式有手动、电动、气动三种。手动是通过手轮的旋转，带动阀杆和阀杆上的螺母或四杆连动式的阀杆使阀板运动。　　手、电两用的传动部件由直流电动机、齿轮箱组成。电动操作时，电动机按某一方向（如关闭方向）旋转，并通过传动部件使四杆连动式的阀杆往复运动。当阀板进入与阀座密封部位时，阀板靠板式弹簧部件的作用，使阀板压紧。　　此时装有行程开关而自动切断电源，运动立即停止。反之，若需打开阀门

　　波纹管(Bellows)在石油、化工有着广泛的应用，发挥着压力传感器和隔离作用，对生产控制及安全有着重要作用，随着我国石油、化工等行业的不断发展创新，对生产设备提出了更高的要求，所以波纹管选择的重要性也备受关注，本文主要讨论的是波纹管在控制阀上的应用。1、波纹管的作用及分类　　波纹管是指具有多个横向波纹的圆柱形薄壁折皱壳体。控制阀上的波纹管所起的作用只有一个——隔离，主要分三种：一种是防止阀内介质扩散到外界，就是针对阀门内所流介质为化学性质活泼或有毒有害的气体、易挥发的液体及贵重的介质，例如氯气、硅粉

波纹管通常分为成型波纹管和焊接波纹管两种，用在超高真空系统中的波纹管材质，一般选用SUS316型号不锈钢。制作口径稍微大一点儿的成型波纹管（如图1），首先将不锈钢板材卷成筒状，接口处焊接。将圆筒插入波纹管模具中，通过液压完成成型波纹管的制作。在超高真空系统中，连接分子泵和机械泵的波纹管，多采用两端为NW 法兰的成型波纹管。成型波纹管的优点是制作简单、成本低。缺点是伸缩和柔韧性不足。弥补成型波纹管不足的是焊接波纹管。焊接波纹管：是将圆环状的不锈钢薄片，内径和外径交替焊接而成的薄壁褶皱软管(图2)。焊接方式为等离

视窗是用于制作观察，光学与能源引入的装置。高真空(HV)采用O形圈（O-ring）压合。超高真空(UHV)采用真空硬焊方式做接合。大多数的视窗皆为“零长度视窗”在玻璃表面不会凸出安装的法兰面，这样的设计除了保护视窗免于意外损坏，更提供了良好的视角。产品特色：超高真空视窗可选用高硼硅玻璃、石英（研发中）、蓝宝石铜锌合金焊接可用于高温环境操作。可根据客人需求定制化。

HGS-鑫熠海公司所制造生产的真空阀主要的形式有: 角阀(Angle Valve)、Y型阀(Y-Inline Valve)、Z型阀(Z-Inline Valve)、全金属阀门(All-Matel Valve)、球阀(Ball Valve)、波纹管封合不锈钢阀门(Formed Bellows Sealed Stainless Valve)。真空阀门(Vacuum Valves)产品主要被使用于各式的真空腔体、真空设备及真空镀膜设备系统中，其主要目的是用来控制或调节气体流量的导入或导出、切断和接通管路的元件。真空阀应用：真空阀用于高真空或超高真空系统设备，当必须在封闭的真空处理系统中保持真空。真空阀用于控制进入真空腔体的气流，隔离，

真空等级：高真空/超高真空应用：建立可以应用于工业生产及科研领域的高真空/超高真空环境。材质：SS 304L/SS 316L/Aluminum最大尺寸：6mx2.4mx1.7m应用领域:Semiconductor 半导体Coating 镀膜Laboratory Research 科研实验室Synchrotron Radiation 同步辐射New Energy(Solar, Lithium Battery) 新能源(太阳能/锂电池)CVD Diamond 化学气象沉积，人造钻石我司可以根据客户不同的需求来设计和制造各类真空腔体，例如大学实验室的表面分析用超高真空系统(UHV system)，真空度要求达到10-10 torr，薄膜太阳能电池的特殊制程腔体，基板温度须达

ISO 法兰是专门替2英寸以上管径设计，其中因不同的锁附工具，分成 ISO-K (卡箍式法兰)与ISO-F (螺丝式法兰) 。 新莱ISO法兰遵循ISO规范，与世界规格接轨。密封方式与KF系列相同，采用O型环紧迫达成封真空效果，最低压力可达1x10 Torr。卡箍式ISO法兰(ISO-K) 采用“双向夹子螺丝”做固定，所以在组合配置方面，没有任何方向性的组装干涉问题。螺丝式ISO法兰(ISO-F)采用螺丝，均匀的在法兰四周锁附，虽然有方向性，但是对于组合强度与密封的均匀性比 ISO-K来的强。标准规格：应用:高真空材质：304/L，316/L，镁铝合金AL6061法兰尺寸范围：IS

卡箍式法兰依照国际标准化组织规格设计制造，与现行国际其他厂牌规格通用 (KF-ISO规格) 。标准材质规格不锈钢304/L，316L与镁铝合金(AL6061) 。KF法兰快速与简易的设计，可方便使用者迅速并可重复的组合与拆解零件。法兰对应范围管径由1/2~2。KF法兰采用对应的铝合金或不锈钢卡箍，让使用者可不需要工具即可方便做组装与拆卸。法兰侧面的15度角斜面设计，与卡箍对应，并提供一致性的锁附力道，让中心圈O形圈垫片稳固地固定于法兰之间，进而达到稳定的密封功能。真空压力的范围可低至1x10 Torr并可烘烤温度最高为摄氏200度。产品范围也针对

CF法兰尺寸由1.33英寸到16.5英寸，并分固定式与旋转式两种。CF法兰具有最高等级加工质量与符合超高真空的清洁包装，我们主要提供SUS304/L，316LN等不锈钢材质，也可定制钛合金等其他材质。CF法兰采用OFHC (无氧高传导) 铜材，简称无氧铜垫片，有效的与CF法兰做密封的结合，最低压力达到1x10 Torr。无氧铜垫片的另外一个优势是可以适用于450℃的环境。然而无氧铜垫片不建议重复使用。在转换UHV(超高真空)与HV(高真空)的环境中，我们也提供整系列的转换法兰与接头类产品，可以参照我司转接头系列。 标准规格： 应用：超高真空 材质：304

“真空”，是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态。国际上通常把真空度划分为低真空、中真空、高真空和超高真空四个等级，其划分标准没有严格规定，可大致划分如下：低真空度（ 105~102Pa）—— 利用低真空获得的压力差来夹持、提升和运输物料，以及吸尘和过滤，如吸尘器、真空吸盘等。中真空度（ 10M2~10-1Pa） —— 中真空一般用于排除物料中吸留和溶解的气体或水分，以及真空隔热和绝缘，如食用品的真空冷冻、真空干燥、真空包装等。高真空度（ 10-1~10-5Pa） —— 利用高真空残留气体密度