真空阀门介绍

HGS-鑫熠海公司所制造生产的真空阀主要的形式有: 角阀(Angle Valve)、Y型阀(Y-Inline Valve)、Z型阀(Z-Inline Valve)、全金属阀门(All-Matel Valve)、球阀(Ball Valve)、波纹管封合不锈钢阀门(Formed Bellows Sealed Stainless Valve)。真空阀门(Vacuum Valves)产品主要被使用于各式的真空腔体、真空设备及真空镀膜设备系统中，其主要目的是用来控制或调节气体流量的导入或导出、切断和接通管路的元件。

真空阀应用：真空阀用于高真空或超高真空系统设备，当必须在封闭的真空处理系统中保持真空。真空阀用于控制进入真空腔体的气流，隔离，排气，提供减压或控制传导。闸阀、Inline阀和角阀是用于高真空或超高真空应用的常见类型的真空阀。额外的阀门类型包括蝶阀，传输阀，球阀，钟摆阀，全金属阀，真空阀，铝合金角阀，特氟龙涂层真空阀和直通阀。

真空阀的分类：

蝶阀：是快速打开的阀门，由金属圆盘或叶片组成，其枢轴线与管道中的流动方向成直角，当在轴上旋转时，阀门密封阀体中的阀座。

传输阀（矩形闸阀）：适用于负载锁定真空腔体和转移室之间的分隔阀，以及转移室和半导体制造设备中的处理室之间的分隔阀。

真空球阀：是四分之一转直通流量阀，具有圆形封闭组件，带有匹配的圆形阀座，可实现均匀的密封应力。

钟摆阀：是在过程真空腔体和涡轮分子泵入口之间安装一个大节流阀。这种真空钟摆阀通常设计为闸阀或摆阀，应用包括OLED，FPD和PV工业制造系统。

全金属阀门：设计用于超高真空环境，其中高温不允许使用弹性体和低温垫片金属。可烘烤的全金属阀门可提供从大气压到10-11mbar以下的可靠高温密封。

真空阀门：可在半导体生产系统和化学和微粒污染的应用中可靠地运行。它们可用于粗真空，高真空或超高真空环境。

铝合金角阀：入口与出口成直角。这些角阀材料为铝A6061-T6，用于半导体和仪器制造，研发和工业真空系统的粗到高真空应用。

特氟龙涂层真空阀：是一种完全设计的不锈钢真空组件设备，具有耐用且高度耐化学腐蚀的涂层。