真空腔体实验室腔体介绍

真空等级：高真空/超高真空

应用：建立可以应用于工业生产及科研领域的高真空/超高真空环境。

材质：SS 304L/SS 316L/Aluminum

最大尺寸：6mx2.4mx1.7m

应用领域:

Semiconductor 半导体

Coating 镀膜

Laboratory Research 科研实验室

Synchrotron Radiation 同步辐射

New Energy(Solar, Lithium Battery) 新能源(太阳能/锂电池)

CVD Diamond 化学气象沉积，人造钻石

我司可以根据客户不同的需求来设计和制造各类真空腔体，例如大学实验室的表面分析用超高真空系统(UHV system)，真空度要求达到10-10 torr，薄膜太阳能电池的特殊制程腔体，基板温度须达到600℃，真空腔体(箱体)的冷却设计就非常重要。

真空腔体(箱体)常用的材料有不锈钢、铝合金、碳钢等，形状有矩形、圆筒型和多边形（如下图），表面处理有喷砂、抛光、电解抛光等，另外也可以依照客户的需求进行热处理应力消除或是振动应力消除。