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CF63全金属真空阀

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  • 商品说明

全金属阀门(Bakeable All-Metal Valve)是属提升锥阀的一种。当提升锥被顶至顶端时, 阀门内部的结构腔是开放系统且气体流动不受阻碍。一旦提升锥被移动至阀门底部时,铜垫片之密封垫被压缩密封阀门,而阻绝气体的流通达到密封之效果。

HGS提供之全金属阀门设计适用于超高真空的环境下,其封止用的垫片是可耐大温差之金属垫片。 全金属阀门适用于真空排气系统、高真空应用的抽气系统、半导体技术与研究系统等。


  • 工作温度范围：可烘烤至：400℃（开），300℃（闭）。

  • 压力范围：1x10- 10 torr 到 760 torr。

  • 全不锈钢结构。

  • 泄漏率：10 - 10 mbar·l/sec.

  • 封扭矩：
    　CR16 First 150kg-cm, Maximum 250kg-cm.
    　CR35 First 300kg-cm, Maximum 600kg-cm.
    　CR63 First 300kg-cm, Maximum 900 kg-cm.

  • 寿命周期(用于Gasket垫片密封)：
    　CR16 : 垂直/水平安装方向300次
    　CR35 : 垂直/水平安装方向300次
    　CR63 : 垂直安装方向300次 水平安装方向100次

  • 方向：任意位置。



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