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CF系列真空全金属阀
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全金属阀门(Bakeable All-Metal Valve)是属提升锥阀的一种。当提升锥被顶至顶端时, 阀门内部的结构腔是开放系统且气体流动不受阻碍。一旦提升锥被移动至阀门底部时,铜垫片之密封垫被压缩密封阀门,而阻绝气体的流通达到密封之效果。 HGS提供之全金属阀门设计适用于超高真空的环境下,其封止用的垫片是可耐大温差之金属垫片。 全金属阀门适用于真空排气系统、高真空应用的抽气系统、半导体技术与研究系统等。
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