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真空波纹管介绍波纹管通常分为成型波纹管和焊接波纹管两种，用在超高真空系统中的波纹管材质，一般选用SUS316型号不锈钢。 制作口径稍微大一点儿的成型波纹管（如图1），首先将不锈钢板材卷成筒状，接口处焊接。将圆筒插入波纹管模具中，通过液压完成成型波纹管的制作。在超高真空系统中，连接分子泵和机械泵的波纹管，多采用两端为NW 法兰的成型波纹管。成型波纹管的优点是制作简单、成本低。缺点是伸缩和柔韧性不足。弥补成型波纹管不足的是焊接波纹管。
焊接波纹管：是将圆环状的不锈钢薄片，内径和外径交替焊接而成的薄壁褶皱软管(图2)。焊接方式为等离子焊，这种波纹管有极大的伸缩性， 当压缩/拉伸焊接波纹管时，与液压成型波纹管不同，波纹管材料几乎没有机械变形。是超高真空系统的连接和各种运动导入器中不可缺少的部件。合理选择波纹管的自然长度，使用寿命可达数十万次以上。焊接波纹管的特点用于需要传递运动的系统（例如，机械手、真空光谱仪等），在很大的范围内提供几何形状的变化。 一些阀门制造商（例如 HighLight Tech Corp）在真空阀门和阀门的设计中使用焊接波纹管。 由于工作行程大，这确保了大量的打开/关闭循环和高导电性。
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