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ISO真空零组件是DIN 28404、ISO 1609标准ISO真空组件,包括ISO法兰、ISO管件、ISO配件转接头、ISO夹具、ISO波纹管和ISO中心圈O型环。
适用高真空制程设备,高科技工业产品如光电(optoelectron)组件、或奈米(nano)、微电子(micro-electron)设备组件,需要高度洁净的真空镀膜制程设备系统和真空零组件,达到符合高科技要求的质量。
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